Przychody Tokyo Electron Ltd. za ostatni rok wyniosły 11.21 B EUR, z czego większość – 14.97 B EUR – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Semiconductor Manufacturing Equipment, rok wcześniej przynosząc 14.43 B EUR. Największy udział w przychodach miał kraj: Chiny — w zeszłym roku przyniósł Tokyo Electron Ltd. 3.66 B EUR, a rok wcześniej — 4.20 B EUR.