Przychody AXCELIS TECHS DL-,001 za ostatni rok wyniosły 983.24 M EUR, z czego większość – 1.01 B EUR – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Ion Implantation Systems and Services, rok wcześniej przynosząc 839.18 M EUR. Największy udział w przychodach miał kraj: Stany Zjednoczone — w zeszłym roku przyniósł AXCELIS TECHS DL-,001 678.86 M EUR, a rok wcześniej — 592.46 M EUR.