Przychody ASML za ostatni rok wyniosły 28.26 B EUR, z czego większość – 9.67 B EUR – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Argon Fluoride Immersion, rok wcześniej przynosząc 9.02 B EUR. Największy udział w przychodach miał kraj: Chiny — w zeszłym roku przyniósł ASML 10.20 B EUR, a rok wcześniej — 7.25 B EUR.