Przychody ASML za ostatni rok wyniosły 119.95 B PLN, z czego większość – 39.71 B PLN – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Extreme Ultraviolet, rok wcześniej przynosząc 33.04 B PLN. Największy udział w przychodach miał kraj: Tajwan — w zeszłym roku przyniósł ASML 35.14 B PLN, a rok wcześniej — 37.96 B PLN.