Przychody AXCELIS TECHS INC za ostatni rok wyniosły 951.90 M CHF, z czego większość – 935.62 M CHF – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Ion Implantation Systems and Services, rok wcześniej przynosząc 830.53 M CHF. Największy udział w przychodach miał kraj: Stany Zjednoczone — w zeszłym roku przyniósł AXCELIS TECHS INC 630.85 M CHF, a rok wcześniej — 586.35 M CHF.