Przychody ASML HOLDING NV za ostatni rok wyniosły 26.75 B CHF, z czego większość – 9.50 B CHF – pochodziła z najbardziej rentownego obecnie źródła, Argon Fluoride Immersion, rok wcześniej przynosząc 8.21 B CHF. Największy udział w przychodach miał kraj: Chiny — w zeszłym roku przyniósł ASML HOLDING NV 10.02 B CHF, a rok wcześniej — 6.60 B CHF.